大型平面光學(xué)鍍膜設(shè)備是一種用于在平面光學(xué)元件表面均勻沉積薄膜的設(shè)備。這些薄膜通常用于改善光學(xué)元件的性能，如反射、透射、抗反射、增透、濾光、鏡面等功能。該設(shè)備主要應(yīng)用于光學(xué)、激光、顯示、通信、航空航天等行業(yè)。

一、光學(xué)鍍膜的基本原理

光學(xué)鍍膜是通過(guò)在光學(xué)元件（如鏡片、濾光片、棱鏡、光纖、顯示器等）表面沉積一層或多層材料（通常是金屬、陶瓷或氧化物）來(lái)改變其光學(xué)性質(zhì)的技術(shù)。這些薄膜層可以是反射膜、透射膜、抗反射膜等，常見(jiàn)的鍍膜方式有物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、濺射沉積、蒸發(fā)鍍膜等。

二、設(shè)備組成

大型平面光學(xué)鍍膜設(shè)備通常包括以下幾個(gè)主要部分：

鍍膜室：這是鍍膜過(guò)程的核心部分，通常為真空室。通過(guò)控制真空度和氣氛來(lái)進(jìn)行鍍膜。為了提高鍍膜質(zhì)量和控制薄膜厚度，需要將鍍膜室的環(huán)境精確控制。

蒸發(fā)源或?yàn)R射源：

蒸發(fā)源：通常使用電子束蒸發(fā)或熱蒸發(fā)的方式，將待沉積材料加熱至氣化狀態(tài)，然后在真空中沉積到光學(xué)元件上。

濺射源：通過(guò)高能離子撞擊靶材，濺射出靶材的原子或分子，這些原子或分子最終沉積到光學(xué)表面形成薄膜。

旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)：光學(xué)元件需要在鍍膜過(guò)程中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以確保薄膜在其表面均勻分布。旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)可以保證鍍膜過(guò)程中的薄膜厚度一致。

真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)用于提供低壓力環(huán)境，通常通過(guò)泵系統(tǒng)將鍍膜室抽真空，確保鍍膜過(guò)程不會(huì)受到空氣中的雜質(zhì)干擾，從而得到高質(zhì)量的薄膜。

測(cè)量與控制系統(tǒng)：包括用于監(jiān)測(cè)薄膜厚度的傳感器（如QCM傳感器）、溫度控制、功率調(diào)節(jié)等，能夠精確控制鍍膜的過(guò)程。

冷卻系統(tǒng)：鍍膜過(guò)程中產(chǎn)生的熱量可能影響薄膜質(zhì)量和光學(xué)元件的完整性，因此需要高效的冷卻系統(tǒng)來(lái)維持穩(wěn)定的溫度環(huán)境。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)元件制造：鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡頭、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡、相機(jī)鏡頭等光學(xué)元件的生產(chǎn)。通過(guò)不同類型的鍍膜，可以對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行抗反射、增透、鏡面反射、過(guò)濾等優(yōu)化，提高圖像質(zhì)量、亮度和對(duì)比度。

顯示技術(shù)：在液晶顯示（LCD）、有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）等顯示屏的生產(chǎn)過(guò)程中，鍍膜技術(shù)用于改善顯示效果，增強(qiáng)色彩、對(duì)比度以及抗反射能力。

激光設(shè)備：激光器和激光光學(xué)元件（如激光透鏡、反射鏡等）的制造過(guò)程中，鍍膜技術(shù)用于調(diào)節(jié)激光的反射和透射特性，保證激光的能量輸出和傳輸質(zhì)量。

太陽(yáng)能光伏：太陽(yáng)能電池板的生產(chǎn)中，光學(xué)鍍膜用于提高光電轉(zhuǎn)換效率。例如，在光伏材料表面鍍上一層抗反射膜，可以減少光的損失，從而提升太陽(yáng)能電池的性能。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域，光學(xué)鏡頭、光學(xué)傳感器、望遠(yuǎn)鏡等設(shè)備需要通過(guò)鍍膜來(lái)增強(qiáng)其抗輻射能力、耐高溫性能以及防反射效果，以保證設(shè)備在惡劣環(huán)境下正常運(yùn)行。

傳感器與儀器：用于精密儀器、紅外傳感器、光學(xué)傳感器等設(shè)備的制造，鍍膜可提高其性能。例如，紅外傳感器通常需要特定的薄膜涂層，以便能夠有效過(guò)濾和透過(guò)特定波長(zhǎng)的光。

四、技術(shù)挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢(shì)

薄膜質(zhì)量的控制：在大型平面光學(xué)鍍膜設(shè)備中，確保薄膜的均勻性和一致性是一個(gè)技術(shù)難題。鍍膜過(guò)程中微小的溫度波動(dòng)、氣體成分變化或壓力波動(dòng)都可能影響薄膜的質(zhì)量。

多層鍍膜技術(shù)：高性能光學(xué)元件往往需要多層薄膜系統(tǒng)，鍍膜設(shè)備必須能夠精確控制每一層膜的厚度和材料成分，以達(dá)到預(yù)期的光學(xué)效果。

智能化與自動(dòng)化：隨著技術(shù)的進(jìn)步，未來(lái)的鍍膜設(shè)備將更加智能化和自動(dòng)化，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控并調(diào)整鍍膜過(guò)程中的各種參數(shù)，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

環(huán)保與節(jié)能：隨著環(huán)保法規(guī)的嚴(yán)格要求，光學(xué)鍍膜設(shè)備需要降低能耗和減少有害物質(zhì)的排放。同時(shí)，開(kāi)發(fā)更加環(huán)保的鍍膜材料和工藝也是當(dāng)前研究的重要方向。

振華SOM2550連續(xù)式磁控濺射光學(xué)鍍膜設(shè)備

設(shè)備優(yōu)勢(shì)：

自動(dòng)化程度高、裝載量大、膜層性能優(yōu)異

可見(jiàn)光透過(guò)率最高可達(dá)99%

超硬AR +AF硬度高達(dá)9H

應(yīng)用范圍：主要生產(chǎn)AR/NCVM+DLC+AF，以及智能后視鏡、車載顯示屏/觸控屏蓋板玻璃、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識(shí)別等產(chǎn)品。

——本文由大型平面光學(xué)鍍膜設(shè)備制造廠振華真空發(fā)布