
各種不同的真空泵在真空系統(tǒng)中所起的作用
由于各種真空泵的性能除均能滿(mǎn)足對(duì)容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外,尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)是十分重要的,泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來(lái)主要有如下幾個(gè)方面。
1、在系統(tǒng)中做主泵
所謂主泵就是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空,以獲得滿(mǎn)足工藝要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓開(kāi)始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開(kāi)始工作的真空泵。
3、前級(jí)泵
前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
4、維持泵
維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí),不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此,在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來(lái)維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣開(kāi)始,降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。
8、增壓泵
增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間,用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。
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1.等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子,電子,自由激進(jìn)分子以及中性粒子共同組成。2.屬于物質(zhì)的第四態(tài)。由于等離子體是具有比氣體更高的能量組合體,處于等離子體環(huán)境中的物質(zhì)可以獲得更多的物理化學(xué)等反應(yīng)特性。3.等離子清洗機(jī)的機(jī)理是依靠處于“等離子態(tài)”的物質(zhì)的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。4.等離子體清洗也是所有清洗方法中最為切底的剝離式的清洗??梢詮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,微電子,COG前,LCD,LCM及LED制程。5.器件封裝前,真空電子,連接器和繼電器以及太陽(yáng)能光伏行業(yè)等的精密清洗,塑料,橡膠,金屬和陶瓷等表面的清洗,刻蝕處理,灰化處理,表面活化等以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。