1.弧光電子流的特點(diǎn)

    弧光放電產(chǎn)生的弧光等離子體中的電子流、離子流、高能中性原子的密度比輝光放電高得多。在鍍膜空間內(nèi)有更多的氣體離子和金屬電離、受激發(fā)的高能原子及各種活性基團(tuán)，它們?cè)阱兡み^程中的加熱、清洗、鍍膜階段發(fā)揮了重要作用。弧光電子流的作用形式和離子束不同，不全是匯聚成“束”，多數(shù)是發(fā)散狀態(tài)，所以稱之為弧光電子流。因?yàn)榛」怆娮恿飨蜿枠O運(yùn)動(dòng)，所以弧電源的正極接在哪里，弧光電子流就射向哪里，陽極可以是工件、輔助陽極、坩堝等。

2.產(chǎn)生弧光電子流的方法

(1)氣體源產(chǎn)生弧光電子流：空心陰極弧光放電、熱絲弧弧光放電的弧電流都可以達(dá)到200A 左右，弧電壓為 50~70V。

(2)固體源產(chǎn)生弧光電子流：陰極電弧源，包括小弧源、柱弧源、矩形平面大弧源等。每個(gè)陰極電弧源放電的弧電流為 80~200A，弧電壓為 18~25V。

    兩種弧光放電等離子體中的高密度、低能量的弧光電子流與氣體、金屬膜層原子可以產(chǎn)生劇烈的碰撞電離，獲得更多的氣體離子、金屬離子和各種高能活性原子和活性基團(tuán)，從而提高了膜層離子整體的活性。

——本文由真空鍍膜機(jī)廠家廣東振華發(fā)布