高壓電子槍發(fā)射的電子束流的密度很大，如果電子束落點控制不當(dāng)，電子束流不能偏轉(zhuǎn)到金屬錠上，可能將鍍膜室壁等處加熱燒熔，所以按照電子槍的操作程序進行操作很重要。

1)一般電子槍的槍電壓是確定的，所以首先開啟磁場電源，調(diào)到預(yù)定的磁場電流。設(shè)定磁場強度 H，即確定電子束軌跡，保證電子束的偏轉(zhuǎn)半徑按預(yù)定的軌跡運行，使電子束斑能落到甘塌內(nèi)的金屬錠上。

2)開啟槍的高壓電源，槍電壓為設(shè)定值。

3)開啟鎢絲加熱電源，緩慢加熱鎢絲。

4)逐漸增大鎢絲的加熱電流，在坩堝內(nèi)的金屬錠表面可看到電子束束斑。

5)增大燈絲電流預(yù)熔金屬錠，加大電子束電流將金屬錠預(yù)熔，可以看到金屬液的滾動。如果束斑不在金屬錠的中心，可以調(diào)磁場電流，稍微改變電子束的偏轉(zhuǎn)半徑，使電子束斑點正好落在金屬錠中央。

6)繼續(xù)增大燈絲電流，加大電子束功率充分預(yù)熔金屬錠，然后打開塌上方的擋板，蒸發(fā)的膜料飛向工件形成膜層。

    在e形電子槍的操作中，如果不預(yù)先給出磁場電流，電子束不會產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，有可能直接射向其他地方而燒毀某些部件。預(yù)定磁場電流的目的是使電子束一出來就按照預(yù)定軌道產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)。

    為了擴大電子束斑的作用范圍，電子槍電源還配有 X一Y掃描系統(tǒng)，使電子束在金屬錠表面掃描，擴大金屬熔化區(qū)域的蒸發(fā)面積，使蒸發(fā)金屬量增多，從而提高沉積速率。

    產(chǎn)業(yè)化過程中，必須固定槍電壓、磁場電流、鎢絲加熱電流及掃描條件，還要保證一定的冷卻水溫度與流量、金屬錠的散熱量，以確保金屬的蒸發(fā)量的穩(wěn)定；否則難以保證膜層質(zhì)量的重復(fù)性，尤其在反應(yīng)沉積化合物薄膜時，金屬的蒸發(fā)量一定了，才能保證化合物薄膜的成分符合化學(xué)計量比。