一、真空泵配件有：

1.?油霧過濾器（別名：油霧分離器，排氣過濾器，排氣濾芯）?

真空泵油霧分離器在推動力的作用下，位于一側(cè)的油氣混合物中的通過真空泵油霧分離器的濾紙及棉質(zhì)。油則被截留，從而實(shí)現(xiàn)氣體與真空油的分離操作過程。被過濾掉的真空泵油隨著回油管進(jìn)行循環(huán)利用，排出的則是無油的廢氣，而達(dá)到無污染，潔凈的效果。

2.?空氣過濾器（別名：空氣濾芯?） ?

真空泵的滑動的空隙很小，外來的介質(zhì)含顆粒、污垢，會破壞滑動面，豁附或阻塞泵的滑動面，造成泵不能正常工作。為了防止外來物被吸人泵中，需要使用過濾器來阻擋其進(jìn)人泵中。萬一有空氣雜質(zhì)沒有過濾清掉，進(jìn)入泵浦內(nèi)，可能導(dǎo)致油管堵塞，潤滑油變混，所以選擇空氣濾芯，必要要選擇原則正品。?后期保養(yǎng)和維修：使用真空泵空氣過濾器要定期清理，防止停留在過濾器的雜質(zhì)吸入泵浦內(nèi)造成泵浦卡死等現(xiàn)象發(fā)生。 

3.?油過濾器（別名：油格）

油格又名油過濾器，真空泵油過濾器是很多進(jìn)口真空泵品牌配置的油過濾裝置，設(shè)置在泵浦回油管路上，主要用途是在回油箱中捕獲體系內(nèi)發(fā)生或者是侵入的污染物。因此它也是控制體系污染濃度的重要的過濾裝置。 

二、真空泵配件常見的失效情況

1、磨損

磨損是真空泵配件常見的一種失效模式，一種是在有潤滑條件下，零部件之間接觸表面的摩擦磨損，常發(fā)生在齒輪、缸體、葉片、轉(zhuǎn)子滑動軸承、滾動軸承中。這類磨損速度緩慢，磨損失效主要與潤滑、密封條件有關(guān)。另一種是在無潤滑條件下，零件相互摩擦或物料對零件表面摩擦所造成的磨損，這在真空泵中尤其突出。如聯(lián)軸器、2X泵的皮帶輪、螺桿真空泵的雙螺桿等等。這類磨損速度比前者快得多，主要與金屬材料性能與物料性質(zhì)有關(guān)。對于油式真空泵來講，潤滑中的磨損尤為突出，大多由于真空泵油變質(zhì)，以及外來雜質(zhì)導(dǎo)致潤滑不暢導(dǎo)致。

2、疲勞破斷

疲勞是一種失效機(jī)理，產(chǎn)生裂紋是一種失效模式。它們常常最后導(dǎo)致零件的破斷。這種疲勞破斷失效過程一般都存在于受交變負(fù)荷的輪齒件中。常見于聯(lián)接螺栓、地腳螺栓、彈簧等零件，也會發(fā)生齒輪傳動軸等重要零件中。疲勞破斷所牽涉的因素很多，需要針對失效零件作具體分析，找出原因采取對策。

3、變形

變形也是真空泵零件常見的一種失效模式。由于泵浦在高速運(yùn)行時會產(chǎn)生一定的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態(tài)，最易發(fā)生。逐步產(chǎn)生的塑性變形，不能恢復(fù)零部件原有的幾何尺寸與形狀，嚴(yán)重時將造成設(shè)備故障。如密封圈，油封等。

4、腐蝕

腐蝕是真空泵零件失效的又一種模式。常見于工藝較為復(fù)雜的PCB，化工等工況下運(yùn)行的真空泵中。

以上這些配件都屬于易損耗材，如出現(xiàn)以上的情況都需要對配件進(jìn)行更換的。真空泵出現(xiàn)故障的時候，我們要進(jìn)行排查處理，確定是其配件失效后，針對以上問題作出相應(yīng)的解決措施。要想該設(shè)備使用壽命長一點(diǎn)，就要對其定期保養(yǎng)維修，減少其故障發(fā)生的頻率。

磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線采用PLC與面板結(jié)合，設(shè)計了完備的功能菜單，實(shí)現(xiàn)整個生產(chǎn)線部件運(yùn)行狀態(tài)的全程監(jiān)控，及工藝參數(shù)設(shè)置、運(yùn)行保護(hù)和報警功能；整個電氣控制系統(tǒng)安全、可靠和穩(wěn)定。帶有加熱系統(tǒng)，真空抽氣系統(tǒng)的真空隔斷采用獨(dú)立門閥，真空隔斷十分可靠。真空室采用積木式結(jié)構(gòu)，可按功能需求增加鍍膜室。生產(chǎn)線抽氣系統(tǒng)采用分子泵作為抽氣主泵，真空室抽速穩(wěn)定、快速，成本低。

主要用于平板玻璃、壓克力、PET等產(chǎn)品上鍍膜，可鍍制各種金屬膜，介質(zhì)膜，介質(zhì)金屬復(fù)合膜，EMI屏蔽膜，不導(dǎo)電膜等膜層。