引燃空心陰極弧光需要具備以下條件：

    1.用鉭管制成的空心陰極槍安裝在鍍膜室壁上，可用于發(fā)射熱電子流。坦管內(nèi)徑為φ6~φ15mm，壁厚為0.8~2mm。

    2.電源由引弧電源和維弧電源并聯(lián)組成。引弧電源電壓為 800~1000V，引弧電流為30~50A;維弧電壓為40~70V，維弧電流為80-300A。

    空心陰極弧光放電過程遵循“伏安特性曲線”中由異常輝光放電轉(zhuǎn)化為弧光放電的過程。首先需要電源提供800V的起輝電壓，以使鉭管產(chǎn)生輝光放電，鉭管內(nèi)高密度的氬離子將鉭管轟擊加熱到發(fā)射熱電子的溫度后，會產(chǎn)生大量的等離子體電子流，空心陰極弧電流突增，然后還需要有維持弧光放電的大電流電源。這種由輝光放電向弧光放電轉(zhuǎn)換的過程是自動進行的，因此需要配置一個既能輸出高電壓，又能輸出大電流的電源。

如果將這兩個要求集中在一個電源上，電源變壓器的二次輸出端必須用很粗的導線繞很多匝數(shù)，才能輸出高電壓和大電流，這將是一個體積很大的電源。經(jīng)過多年改進，可將體積不大的引弧電源和維弧電源并聯(lián)，引弧電源用細導線繞多匝，就可以輸出800V高電壓來引燃鉭管產(chǎn)生輝光放電；維弧電源用粗導線繞較少匝數(shù)，就可以輸出幾十伏電壓和幾百安的電流來維持空心陰極弧光放電的穩(wěn)定進行。由于兩個電源并聯(lián)在鉭管上，在由異常輝光放電轉(zhuǎn)化為弧光放電的過程中，兩個電源會自動銜接，由高電壓小電流自動切換為低電壓大電流。

    3.要快速調(diào)整真空度。鉭管內(nèi)產(chǎn)生輝光放電的真空度為 100Pa左右，在如此低的真空條件下所沉積的膜層組織必然粗大，因此在引燃弧光放電后必須馬上減少氣通人量，迅速將真空度調(diào)至8x10-1~2Pa，以便于獲得細密的初始膜層組織。

    4.工件轉(zhuǎn)架安裝在鍍膜室周邊，工件接偏壓電源負極，真空室接正極。由于空心陰極弧的電流密度大，離子鍍膜的工件偏壓不需要達到 1000V，一般為50~200V。

    5.在甘塌周圍設置聚焦電磁線圈，線圈通入電流后產(chǎn)生的電磁場可使電子束聚焦在金屬錠的中心，增大電子流的功率密度。