光學薄膜的表征包含光學特性的表征、光學參數(shù)的表征及非光學特性的表征，其中，光學特性主要是指光學薄膜的光譜反射、透射及光學損耗（吸收損耗和反射損耗）特性。透射率與反射率是光學薄膜最基本的光學特性，因而薄膜透射率與反射率的測試是光學薄膜的基本測試技術。光學薄膜的光學參數(shù)包含光學薄膜的折射率、吸收系數(shù)及薄膜厚度等。

    由于實際工藝制備的光學薄膜在材料組分上具有化學計量偏差，在結構上不再是均一、致密的，而是存在微結構與各種缺陷，介質(zhì)膜層不再完全透明，存在微弱吸收，同時薄膜折射率存在空間上的不均勻性和各相異性，薄膜不再具有無限大、光滑的界面。更為重要的是，在實際制備過程中，薄膜制備工藝參數(shù)對薄膜的光學參數(shù)影響非常大，因此薄膜光學參數(shù)的實時確認非常關鍵。另外，光學薄膜作為一個器件應用在實際環(huán)境中，除了器件的光學特性需要滿足要求外，薄膜還有許多其他重要的非光學特性影響薄膜的使用，如薄膜的附著力、薄膜的應力、薄膜的硬度與表面粗糙度及薄膜的耐環(huán)境能力等。因此，必須對所有影響薄膜器件使用的各種參數(shù)或特性進行精確的測定。

    薄膜的透射率與反射率主要采用光譜測試分析儀進行測試。用于光學薄膜測試的光譜儀可以按照測試波段的不同分成紫外-可見分光光度計、紅外分光光度計及紅外傅里葉光譜儀等。前兩者采用光譜分光原理的分析測試系統(tǒng)，后者基于干涉原理的光譜分析系統(tǒng)。由于薄膜器件的幾何結構與形狀的不同，雖然都是透射率和反射率的測量，但是對于不同形狀、不同精度或不同偏振要求，都可能需要不同的測試方法與技術。

——本文由光學鍍膜設備廠家廣東振華發(fā)布