隨著計算機技術(shù)的發(fā)展,硬磁盤存儲密度越來越高,這要求磁頭與磁盤的間隙變小,磁頭與磁盤在使用中因頻繁接觸、碰撞而產(chǎn)生磨損。為了保護磁性介質(zhì),要求在磁盤上沉積一層既耐磨又足夠薄且不致于影響其存儲密度的膜層。用RF-PCVD方法在硬磁盤上沉積了40nm的DLC薄膜,發(fā)現(xiàn)有Si 過渡層的膜層與基體結(jié)合強度高,具有良好的保護效果,且對硬磁盤的電磁特性無不良影響。

    DLC薄膜在電子學(xué)上也很有應(yīng)用前景。采用DLC薄膜作為絕緣層的MIS結(jié)構(gòu)可用于電子領(lǐng)域的許多方面,可用于反應(yīng)速度快的光敏傳感器,也可用于極敏感的電容傳感器。另外外,DLC薄膜在電學(xué)上也是場發(fā)射平面顯示器冷陰極的極好材料。金雙內(nèi)國

    (2)DLC薄膜在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

    在光學(xué)方面,DLC薄膜可用作增透保護膜。Ce是在8~12um范圍內(nèi)通用的窗口和透鏡材料,但其容易被劃傷和被海水浸蝕。在Ge表面鍍一層DLC薄膜,可提高其紅外透射率和耐腐蝕性能。但是,一般 DLC薄膜在可見光范圍內(nèi)的透光性較差,限制了它在光電器件上的應(yīng)用。此外,研究類金剛石薄膜在激光作用下的損傷及損傷機制表明,KC1基片上沉積DLC薄膜后,連續(xù)CO,激光損傷閩值可高達7.4kW/cm’。木林據(jù)寧簡那隆設(shè)海明

    (3)DLC薄膜在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

    DLC薄膜在醫(yī)學(xué)上可作為人工心臟瓣膜,而且具有相當(dāng)好的生物相容性。目前,美國ART公司利用 DLC 薄膜表面能小、不潤濕等特點,通過摻人 Si0,網(wǎng)狀物并摻人過渡金屬元素以調(diào)節(jié)其導(dǎo)電性,生產(chǎn)出不粘肉的高頻手術(shù)刀,明顯改善了醫(yī)務(wù)人員的工作條件。此外,很多人工關(guān)節(jié)由聚乙烯的凹槽和金屬與合金(鈦合金、不銹鋼等)的凸球組成。關(guān)節(jié)的轉(zhuǎn)動部分接觸界面會因長期摩擦而產(chǎn)生磨屑,與肌肉結(jié)合會使肌肉變質(zhì)、壞死。DLC薄膜無毒、不受液體浸蝕,鍍在人[關(guān)節(jié)轉(zhuǎn)動部位上的 DLC薄膜不會因摩擦而產(chǎn)生磨屑,更不會與肌肉產(chǎn)生反應(yīng),可大幅度延長人工關(guān)節(jié)的使用壽命。

——本文由光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布