實(shí)驗(yàn)型卷繞鍍膜設(shè)備采用磁控濺射及陰極電弧相結(jié)合的鍍膜技術(shù),既滿足了對(duì)膜層致密性要求,又滿足了高離化率的要求;立式結(jié)構(gòu),工件卷繞系統(tǒng)垂直安裝在真空室內(nèi);多室門設(shè)計(jì),陰極安裝在側(cè)門上,可裝六套陰極源或離子源,開(kāi)門即可對(duì)靶進(jìn)行維護(hù)或更換;設(shè)備可一次性進(jìn)行工件表面處理及鍍制多層膜,實(shí)現(xiàn)多層膜沉積。適用多種金屬或化合物鍍膜材料。
設(shè)備具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動(dòng)化程度高、操作簡(jiǎn)單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)的特點(diǎn),尤其適用于實(shí)驗(yàn)室高校使用,客戶可根據(jù)自身不同需求選配。