該設(shè)備主要采用化學(xué)氣相沉積的方式來制備氧化物，有沉積速率快，膜層質(zhì)量高的特點(diǎn)。在設(shè)備結(jié)構(gòu)上，使用雙門結(jié)構(gòu)，提高裝夾效率，采用最新液態(tài)供氣系統(tǒng)，流量穩(wěn)定可控，有效保證工藝穩(wěn)定性。該設(shè)備所制備的膜層，具有良好的水汽阻隔性，在水煮測試中具備更長的穩(wěn)定周期。

設(shè)備可適用于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃、陶瓷等材質(zhì)，如電子產(chǎn)品、LED燈珠、醫(yī)藥用品等需要抗氧化類產(chǎn)品。主要制備SiOx阻隔膜，有效阻隔水汽，防止腐蝕、氧化，提高產(chǎn)品壽命。