真空等離子清洗設(shè)備采用一體化結(jié)構(gòu)，配備RF離子清洗系統(tǒng)，全自動化控制，操作方便，維護(hù)方便。
通過RF高頻發(fā)生器，可產(chǎn)生高密度等離子體，對工件表面進(jìn)行活化、刻蝕、灰化，有效去除產(chǎn)品表面灰塵及油脂，釋放表面應(yīng)力，使工件表面獲得各種改性。
適用于橡膠、玻璃、陶瓷、金屬等材質(zhì)產(chǎn)品，應(yīng)用于微電子、LCD、LED、LCM、PCB電路板、半導(dǎo)體封裝，以及醫(yī)療器械、生命科學(xué)試驗(yàn)等領(lǐng)域。
