造成靶材出現(xiàn)黑化的因素有很多，與靶材的成分及密度、靶材的濺射功率、靶表面的溫度以及靶材表面的清潔度、靶材背板、陽極罩的清潔度、靶材之間的間隙、真空室內(nèi)的雜質(zhì)氣體含量等有關(guān)系。要減小靶材黑化對(duì)ITO膜面電阻及透過率的影響，應(yīng)要求：

    1） 每次換靶固定焊接靶材時(shí)控制好靶材之間的間隙；

    2） 每次換靶時(shí)，要保證靶面平整干凈，要對(duì)屏蔽罩、靶板等進(jìn)行打磨，保證干凈無異物；

    3） 換靶時(shí)對(duì)真空室衛(wèi)生的處理以及開機(jī)前的關(guān)門準(zhǔn)備工作要做細(xì)致，減少漏氣的幾率；

    4） 確保靶材的冷卻系統(tǒng)正常工作，冷卻充分均勻；

    5） 在正常生產(chǎn)幾天后，對(duì)出現(xiàn)的靶材黑化現(xiàn)象可以通過調(diào)節(jié)靶的濺射功率來適當(dāng)減小靶材黑化對(duì)電阻和透過率的影響。