1、打開真空控制電源開關(guān)。

2、開維持泵對(duì)擴(kuò)散泵抽低真空，并測(cè)量前級(jí)真空度。

3、待前級(jí)壓力達(dá)到5*100后，開擴(kuò)散泵加熱。

4、開充氣閥，對(duì)鍍膜室充氣，打開鍍膜室門，裝好清洗干凈的工件，關(guān)好爐門。

5、待擴(kuò)散泵正常工作一小時(shí)后，開機(jī)械泵開預(yù)抽閥，對(duì)真空室手抽真空至1*103，然后開羅茨泵。

6、當(dāng)壓力達(dá)到3*100后，關(guān)預(yù)抽閥，開前級(jí)閥。開高真閥，對(duì)鍍膜室抽高真空。

7、當(dāng)真空室壓力達(dá)到8*10-3（具體壓力值根據(jù)工藝要求而定）后開工件旋轉(zhuǎn)，并開加熱至設(shè)定值。

8、開始鍍膜操作程序。

9、鍍膜操作程序結(jié)束。

10、降爐溫至100℃以下，打開充氣閥開爐門取出工件，每一爐使用之前對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行清潔。

       ——文本由真空鍍膜設(shè)備廠家廣東振華科技發(fā)布。