1.信息顯示器中的薄膜種類(lèi)

    在信息顯示器中，除了 TFT-LCD 與 OLED 中的薄膜外，還包括顯示面板中的配線電極薄膜及透明像素電極薄膜等。鍍膜工藝是 TFT-LCD 與 OLED 顯示器的核心工藝，隨著信息顯示技術(shù)的不斷進(jìn)步，信息顯示領(lǐng)域的薄膜的性能要求越來(lái)越嚴(yán)格，需要精確控制均勻性、厚度、表面粗糙度、電阻率及介電常數(shù)等參數(shù)。

2.平板顯示器的尺寸

    平板顯示產(chǎn)業(yè)中，通常以生產(chǎn)線所應(yīng)用的玻璃基板的尺寸劃分代線。生產(chǎn)中一般先生產(chǎn)大尺寸的基板再切割成產(chǎn)品屏幕的大小，基板尺寸越大，就越適合制備大尺寸的顯示器。目前，TFT-LCD 已發(fā)展到適宜生產(chǎn)50in 以上顯示器的11代線(3000mmx3320mm)，而OLED顯示器目前發(fā)展到適宜制備18~37in顯示器的6代線(1500mmx1850mm)。雖然玻璃基板尺寸的大小與顯示產(chǎn)品的最終性能并非直接相關(guān)，但大尺寸基板加工具有更高的生產(chǎn)率與更低的成本。因此，大尺寸面板加工一直是信息顯示產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。但是，大面積加工也會(huì)面臨均勻性差及優(yōu)良率低的問(wèn)題，主要通過(guò)工藝設(shè)備的升級(jí)與技術(shù)的改進(jìn)解決。

    另一方面，信息顯示薄膜在加工過(guò)程需要考慮基板的承受溫度，工藝溫度的降低能夠有效地拓展信息顯示薄膜的應(yīng)用領(lǐng)域并降低成本。同時(shí)，隨著柔性顯示器件的發(fā)展，不耐高溫的柔性基板(主要包括超薄玻璃、軟質(zhì)塑料和木質(zhì)纖維) 對(duì)低溫工藝的要求更為嚴(yán)格。目前，最常用的柔性高分子塑料基板可承受溫度一般都在300℃以下，包括聚亞胺(PI)、多芳基化合物(PAR)和聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等。

    相對(duì)于其他的鍍膜方式來(lái)說(shuō)，離子鍍膜技術(shù)能夠有效地降低薄膜制備的工藝溫度，其制備的信息顯示薄膜性能優(yōu)良，大面積生產(chǎn)均勻性好，能夠滿足顯示器件的需求，優(yōu)良率高，因此離子鍍膜技術(shù)廣泛應(yīng)用于信息顯示薄膜的工業(yè)生產(chǎn)及科學(xué)研究中。離子鍍膜技術(shù)是當(dāng)前信息顯示領(lǐng)域的核心技術(shù)，該技術(shù)推動(dòng)了 TFT-LCD與OLED的誕生、應(yīng)用及進(jìn)步。