在游膜制備過程中，基片可根據(jù)以下幾個(gè)力面進(jìn)行選擇：

①平盤度商，適于游膜的生長：

②根據(jù)不同的應(yīng)用目的，選擇金展或合金、玻璃、陶瓷和塑料等作為基片；

③基片材料結(jié)構(gòu)與薄膜結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)：

④基片材料與薄膜性能相匹配，減少熱應(yīng)力，以防薄於脫落：

⑤考慮市場(chǎng)供應(yīng)情況、價(jià)格和加工難易程度等。

薄膜的選擇原則：①基片和薄膜材料的化學(xué)相容性。最理想的化學(xué)相容性，足指薄膜在制備過程中，界面性能不發(fā)生退化，物相在界面上不發(fā)生有害的化學(xué)反應(yīng)，不產(chǎn)生弱化相，②基片和薄膜材料的物理相容性。物理相容性主要指基體和薄膜材料在熱膨脹系數(shù)、彈栍模量、泊松比以及晶格當(dāng)數(shù)等方面的匹配，其結(jié)果直接影響薄股材料內(nèi)部殘余應(yīng)力的分布，進(jìn)而影響到薄膜的力學(xué)性能。