
基片與薄膜的選擇原則
文章作者:廣東振華科技
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發(fā)布時(shí)間:2024-01-31
在游膜制備過程中,基片可根據(jù)以下幾個(gè)力面進(jìn)行選擇:
①平盤度商,適于游膜的生長:
②根據(jù)不同的應(yīng)用目的,選擇金展或合金、玻璃、陶瓷和塑料等作為基片;
③基片材料結(jié)構(gòu)與薄膜結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng):
④基片材料與薄膜性能相匹配,減少熱應(yīng)力,以防薄於脫落:
⑤考慮市場(chǎng)供應(yīng)情況、價(jià)格和加工難易程度等。
薄膜的選擇原則:①基片和薄膜材料的化學(xué)相容性。最理想的化學(xué)相容性,足指薄膜在制備過程中,界面性能不發(fā)生退化,物相在界面上不發(fā)生有害的化學(xué)反應(yīng),不產(chǎn)生弱化相,②基片和薄膜材料的物理相容性。物理相容性主要指基體和薄膜材料在熱膨脹系數(shù)、彈栍模量、泊松比以及晶格當(dāng)數(shù)等方面的匹配,其結(jié)果直接影響薄股材料內(nèi)部殘余應(yīng)力的分布,進(jìn)而影響到薄膜的力學(xué)性能。