蒸發(fā)源及其設(shè)計(jì)與使用中應(yīng)考慮的問(wèn)題
文章作者：廣東振華科技
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發(fā)布時(shí)間：2024-02-28
在真空蒸發(fā)鑲與真空離子鎮(zhèn)的過(guò)程中，將膜材登于 1000°C~2000°C 高溫下，使其燕發(fā)汽化的裝置，稱為蒸發(fā)源。蒸發(fā)源種類較多，蒜發(fā)源汽化膜材的原理也各不相同。但是，就其應(yīng)用特點(diǎn)而言，在設(shè)計(jì)或應(yīng)用時(shí)，主要應(yīng)考慮如下幾方面問(wèn)題：
①蒸發(fā)源應(yīng)滿足膜材蒸發(fā)時(shí)具有較大的蒸發(fā)速率，并且能存儲(chǔ)足夠數(shù)量的膜材；
②蒸發(fā)源應(yīng)具有較好和較長(zhǎng)的使用壽命；
③蒸發(fā)源的使用范圍應(yīng)當(dāng)廣泛，既可蒸發(fā)金屬或合金（如 Al、Ti、Fe. Co. Cr）也可蒸發(fā)化合物（如 SiO、SiO2、Zns 等）；
④蒸發(fā)源在結(jié)構(gòu)上應(yīng)力求簡(jiǎn)單、易手制作、使用維護(hù)方便、運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用低廉。
——本文由蒸發(fā)鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布
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