光學(xué)真空鍍膜機(jī)大多數(shù)是熱蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備,主要由三大部分組成:真空系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)和膜層厚度控制系統(tǒng)。

1.真空系統(tǒng)

光學(xué)鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的組成形式有:小型鍍膜機(jī)采用“高真空油擴(kuò)散泵+低真空機(jī)械泵+低溫冷阱”,大型鍍膜機(jī)采用“高真空油擴(kuò)散泵+低真空機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱”,也有采用“高真空低溫冷凝泵+低真空機(jī)械泵”無油真空系統(tǒng)”的。

1.真空系統(tǒng)

由“高真空油擴(kuò)散泵+低真空機(jī)械泵+低溫冷阱”組成的真空系統(tǒng)中,低真空機(jī)械泵首先將真真空低溫冷凝泵+低真空機(jī)械泵”無油真空系統(tǒng)的?？帐页榈降陀?Pa 的低真空狀態(tài),為油擴(kuò)散泵后續(xù)抽真空室提供前提條件;當(dāng)油擴(kuò)散泵抽真空室時(shí),機(jī)械泵又與油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)機(jī)組,機(jī)械泵成為幫助油擴(kuò)散泵排氣于大氣中的必不可少的設(shè)備。機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成的機(jī)組,可以將真空室抽到 10-’Pa 的高真空。

羅茨泵作為提高“機(jī)械泵+油擴(kuò)散泵”機(jī)組抽氣速度、壓縮抽真空時(shí)間、提高生產(chǎn)效率的輔助真空泵,在用于批量生產(chǎn)的大型鍍膜機(jī)中發(fā)揮著重要作用。

低溫冷凝泵的最大優(yōu)點(diǎn)是無油,有效避免了油擴(kuò)散泵的油污染問題。采用低溫冷凝泵無油真空系統(tǒng)的鍍膜機(jī)鍍制的膜層的牢固度明顯優(yōu)于有油真空系統(tǒng)鍍膜機(jī)鍍制的膜層。2.熱蒸發(fā)系統(tǒng)

光學(xué)真空鍍膜機(jī)中設(shè)置有電阻熱蒸發(fā)電極兩對,電子?xùn)|蒸發(fā)源一個或兩個。電阻熱蒸發(fā)電極用于蒸發(fā)低熔點(diǎn)材料,電子?xùn)|蒸發(fā)源用于蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料。

3.膜層厚度控制系統(tǒng)

精密的膜層厚度控制系統(tǒng)是光學(xué)真空鍍膜機(jī)不同于機(jī)械、電子行業(yè)鍍膜機(jī)的地方。用于光學(xué)鍍膜機(jī)的膜層厚度控制系統(tǒng)有兩大類:第一類是石英晶體膜厚儀,它是基于石英晶體振蕩頻率隨膜層厚度增加而衰減的原理進(jìn)行測厚的,它測量的是膜層的幾何厚度。第二類是光電膜厚儀,它以被鍍零件的光透射或反射信號隨膜層厚度的變化值作為測量厚度的依據(jù),測量的是膜層的光學(xué)厚度。這兩種方法用于光學(xué)膜層厚度控制,都有很高的測量精度。需要注意的是:光電膜厚儀控制的是光學(xué)厚度,光電膜厚儀的靈敏度比較低;石英品體膜厚儀測量的是幾何厚度,但測量靈敏度為0.1mm。不過,近年來,利用直接監(jiān)測被鍍零件的光譜透射或光譜反射特性的方法取代監(jiān)測膜層光學(xué)厚度的寬波