透明導(dǎo)電氧化物薄膜具有可見(jiàn)光透射率高、電阻率低,以及耐腐蝕性較好和化學(xué)穩(wěn)定性高等

(1)在平板顯示器(FPD)上的應(yīng)用特點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于平板顯示器的透明電極。在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)于高分辨率的FPD而言,要求 TCO 薄膜在可見(jiàn)光波段的透射率大于 85%,厚度通常小于 150nm,方塊電阻Rs<150/囗,相心的電阻率一般為(1~3)x104-“Ω.cm;還要保證其有良好的刻蝕性能和表面均勻性(±5%),以及良好的表面粗糙度。此外,顯示器中的電極必須做成一定的形狀,這就要求其 TCO 薄膜材料要易于刻蝕。目前,ITO 薄膜能夠滿足現(xiàn)行顯示器件制造的要求。

此外,場(chǎng)致發(fā)射顯示器(EL)、等離子顯示器(PDP)、有機(jī)發(fā)光顯示器(OLED)、電致熒光品示器(ECD)等平板顯示領(lǐng)域都大量采用了低電阻率和高透射率的ITO 薄膜來(lái)作為電極。

(2)在其他顯示器件上的應(yīng)用

隨著掌上電腦(PDA)電子書(shū)等觸摸式輸入電子產(chǎn)品的悄然興起,相應(yīng)的材料制備也應(yīng)運(yùn)而生。由于觸摸式電子產(chǎn)品工作原理的特殊性,所需的ITO 薄膜必須沉積在柔性聚酯材料(PET)上,薄膜的沉積溫度一般不能太高(<120℃),甚至要求在室溫下沉積。同時(shí)要求ITO薄膜較薄,方塊電阻小而且均勻穩(wěn)定。所以,對(duì) IT0 薄膜的沉積工藝提出了更高的要求。采用離子束輔助沉積技術(shù)可以在室溫下制備出具有優(yōu)良電學(xué)和光學(xué)性質(zhì)的 ITO薄膜。

(3)在太陽(yáng)能電池上的應(yīng)用

ITO 薄膜作為減反射層和透明電極,是太陽(yáng)能電池的重要組成部分,對(duì)于提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率起著重要的作用。如 ITO/Si0,/p-Si 太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率可達(dá) 13%~16%。

(4)在透明視窗上的應(yīng)用

ITO 薄膜作為面發(fā)熱體,大量應(yīng)用于熱鏡。ITO 薄膜在可見(jiàn)光波段的高透射率和在紅外光波段高反射率,可以將其作為寒冷環(huán)境下視窗或太陽(yáng)能集熱器的觀察窗,使熱量保持在一個(gè)封閉的空間里,起到熱屏蔽的作用。它可以大量節(jié)約高層建筑的能源消耗。此外,還可以大量用于汽車(chē)、火車(chē)、航天器等交通工具的玻璃防霧和防結(jié)霜薄膜。

(5)在防電磁干擾上的應(yīng)用

實(shí)驗(yàn)表明,5Ω/□的 ITO 薄膜具有-30dB 的電磁波屏蔽能力,完全達(dá)到了實(shí)用化的要求。而家用電器等對(duì)電磁防護(hù)屏的要求是方塊電阻小于2k0/□。低電阻率的透明導(dǎo)電薄膜還可用于雷達(dá)屏蔽保護(hù)區(qū)、防電磁干擾等透明窗口。

——本文由磁控濺射鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布