光學真空鍍膜機大多數(shù)是熱蒸發(fā)真空鍍膜設備,主要由三大部分組成:真空系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)和膜層厚度控制系統(tǒng)。

1.真空系統(tǒng)

光學鍍膜機真空系統(tǒng)的組成形式有:小型鍍膜機采用“高真空油擴散泵+低真空機械泵+低溫冷阱”,大型鍍膜機采用“高真空油擴散泵+低真空機械泵+羅茨泵+低溫冷阱”,也有采用“高真空低溫冷凝泵+低真空機械泵”無油真空系統(tǒng)”的。

1.真空系統(tǒng)

由“高真空油擴散泵+低真空機械泵+低溫冷阱”組成的真空系統(tǒng)中,低真空機械泵首先將真真空低溫冷凝泵+低真空機械泵”無油真空系統(tǒng)的?？帐页榈降陀?Pa 的低真空狀態(tài),為油擴散泵后續(xù)抽真空室提供前提條件;當油擴散泵抽真空室時,機械泵又與油擴散泵組成串聯(lián)機組,機械泵成為幫助油擴散泵排氣于大氣中的必不可少的設備。機械泵與油擴散泵組成的機組,可以將真空室抽到 10-’Pa 的高真空。

羅茨泵作為提高“機械泵+油擴散泵”機組抽氣速度、壓縮抽真空時間、提高生產(chǎn)效率的輔助真空泵,在用于批量生產(chǎn)的大型鍍膜機中發(fā)揮著重要作用。

低溫冷凝泵的最大優(yōu)點是無油,有效避免了油擴散泵的油污染問題。采用低溫冷凝泵無油真空系統(tǒng)的鍍膜機鍍制的膜層的牢固度明顯優(yōu)于有油真空系統(tǒng)鍍膜機鍍制的膜層。2.熱蒸發(fā)系統(tǒng)

光學真空鍍膜機中設置有電阻熱蒸發(fā)電極兩對,電子東蒸發(fā)源一個或兩個。電阻熱蒸發(fā)電極用于蒸發(fā)低熔點材料,電子東蒸發(fā)源用于蒸發(fā)高熔點材料。

3.膜層厚度控制系統(tǒng)

精密的膜層厚度控制系統(tǒng)是光學真空鍍膜機不同于機械、電子行業(yè)鍍膜機的地方。用于光學鍍膜機的膜層厚度控制系統(tǒng)有兩大類:第一類是石英晶體膜厚儀,它是基于石英晶體振蕩頻率隨膜層厚度增加而衰減的原理進行測厚的,它測量的是膜層的幾何厚度。第二類是光電膜厚儀,它以被鍍零件的光透射或反射信號隨膜層厚度的變化值作為測量厚度的依據(jù),測量的是膜層的光學厚度。這兩種方法用于光學膜層厚度控制,都有很高的測量精度。需要注意的是:光電膜厚儀控制的是光學厚度,光電膜厚儀的靈敏度比較低;石英品體膜厚儀測量的是幾何厚度,但測量靈敏度為0.1mm。不過,近年來,利用直接監(jiān)測被鍍零件的光譜透射或光譜反射特性的方法取代監(jiān)測膜層光學厚度的寬波