真空的獲得又被稱為“抽真空”,它是指采用不同的真空泵把容器內(nèi)的空氣抽走,使得這個(gè)空間內(nèi)的壓強(qiáng)降到一個(gè)大氣壓以下。當(dāng)前,為得到真空而常用的裝置包括旋片式機(jī)械真空泵、羅茨泵、油擴(kuò)散泵、復(fù)合分子泵、分子篩吸附泵、鈦升華泵、濺射離子泵和低溫泵等。在這些泵中,前四種泵歸類為氣體傳輸泵(傳輸式真空泵),是指將氣體分子不斷地吸人真空泵中,并排到外界環(huán)境,而實(shí)現(xiàn)抽真空;后四種泵歸類為氣體捕獲泵(捕獲式真空泵),是在泵腔的內(nèi)壁上進(jìn)行分子凝結(jié)或化學(xué)鍵合,從而獲得所需要的真空。氣體捕獲泵因其不以油為工作介質(zhì),所以也被稱作無(wú)油類真空泵。與那些永久性地移走氣體的傳輸式真空泵不同,有些捕獲式真空泵是可逆式的,可以在加熱過程中將被收集到的或凝結(jié)的氣體排回到系統(tǒng)。

    傳輸式真空泵分為容積式和動(dòng)量傳輸式兩大類。容積式傳輸泵通常包括旋片式機(jī)械泵、液環(huán)泵、往復(fù)泵和羅茨泵;動(dòng)量傳輸式真空泵通常包括分子泵、噴射泵、油擴(kuò)散泵。捕獲式真空泵通常包括低溫吸附和濺射離子泵等。

    一般情況下,采用的鍍膜工藝不同,其所用真空鍍膜室的真空度應(yīng)達(dá)到不同的水平,而在真空技術(shù)中,多以本底真空度(也被稱為本征真空度)來(lái)表示其水平。本底真空度是指通過真空泵將真空鍍膜室的真空度抽至滿足鍍膜工藝需要的最高真空度,而這個(gè)真空度的大小,主要依賴于真空泵的抽真空能力。真空鍍膜室被其真空系統(tǒng)抽真空所能達(dá)到的最高真空度稱為極限真空度(或極限壓強(qiáng))。表1-2中列出了一些常見真空泵的工作壓強(qiáng)范圍及可以得到的極限壓強(qiáng)。表格中用陰影住的部分代表了每個(gè)真空泵在與其他設(shè)備結(jié)合使用時(shí)可以得到的壓強(qiáng)。

——本文由真空鍍膜設(shè)備廠家振華真空發(fā)布