實(shí)驗(yàn)型鍍膜設(shè)備主要用于各大院校及科研單位，可滿足多種實(shí)驗(yàn)要求；預(yù)留多種結(jié)構(gòu)靶位，靈活配置，以滿足不同領(lǐng)域的科研開發(fā)。可選配磁控濺射系統(tǒng)、陰極電弧系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、CVD、PECVD、離子源、偏壓系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、三維夾具等，客戶可根據(jù)自身不同需求選配。
