該設(shè)備的陰極采用前置線圈與永磁疊加的雙驅(qū)動技術(shù)，配合陽極層離子源刻蝕系統(tǒng)及三維多角度夾具，實現(xiàn)多工位同時工作；配備大直徑陰極電弧，在大電流的使用條件下，其陰極電弧具有優(yōu)異的冷卻性，弧斑運動速度快，離化率高，沉積速率快，可高效沉積更加致密且光滑的涂層，其涂層的抗氧化及耐高溫性能優(yōu)勢更顯著。
設(shè)備可鍍制AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN等耐高溫超硬涂層，已廣泛應用于微鉆、銑刀、絲錐、桿狀類刀具、汽車零部件、醫(yī)療器械等領(lǐng)域。
涂層性能舉例:
涂層 | 膜厚(um) | 硬度(HV) | 最大工作溫度(℃) | 顏色 | 涂層應用 |
Ta-C | 1-2.5 | 4000-6000 | 400 | 黑色 | 石墨、碳纖維、復合材料、鋁及鋁合金 |
TiSiN | 1-3 | 3500 | 900 | 古銅色 | 55-60HRC不銹鋼切削，精加工 |
AlTiN-C | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | 藍灰色 | 低硬度不銹鋼切割、成型模具、沖壓模具 |
CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | 灰色 | 重切削、沖壓模具 |
CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | 灰色 | 55-60HRC不銹鋼切削，精加工，干切削 |
