實驗型卷繞鍍膜設(shè)備采用磁控濺射及陰極電弧相結(jié)合的鍍膜技術(shù),既滿足了對膜層致密性要求,又滿足了高離化率的要求;立式結(jié)構(gòu),工件卷繞系統(tǒng)垂直安裝在真空室內(nèi);多室門設(shè)計,陰極安裝在側(cè)門上,可裝六套陰極源或離子源,開門即可對靶進行維護或更換;設(shè)備可一次性進行工件表面處理及鍍制多層膜,實現(xiàn)多層膜沉積。適用多種金屬或化合物鍍膜材料。
設(shè)備具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護的特點,尤其適用于實驗室高校使用,客戶可根據(jù)自身不同需求選配。