真空離子清洗設備的過程中，由于采用數(shù)字面板顯示、邏輯電路自動控制，使得設備的操作維護非常簡單，塑料、橡膠、 金屬和陶瓷等材料表面的活洗、灰化、刻蝕處理、表面活化以及生命科學實驗。離子束清洗刻蝕技術是在上世紀70年代的時候，由于當時固體器件正在向亞微米級線寬方向發(fā)展而隨之興起的，作為一種超精細刻蝕技術，它與機械加工、等離子體濺射、等離子體腐蝕、化學腐蝕等加工工藝相較之下，具有以下特點：

（1）加工的靈活性、重復性好。因為離子束的束流密度、入射角、能量，亦或工件臺的移動、旋轉速度等諸多環(huán)境參數(shù)，都可準確獨立地分別進行控制，所以可針對不同工件來控制不同的加工環(huán)境參數(shù)，不僅可以控制線條邊壁的斜度，還可以控制溝槽的深度根據設置函數(shù)而變。

（2）加工的分辨率高、方向性好。設備刻蝕的工件被準直的離子束在真空環(huán)境下定向進行轟擊，這是一種準確的方向性刻蝕，避免了化學濕法中常見的“鉆蝕現(xiàn)象”，刻蝕位置的邊緣效果明顯，既清晰又陡直，且分辨率高?？蛇_0.01μm-0.1μm的精度，還可得到優(yōu)于0.05μm的表面粗糙度。

（3）加工能力超精細。該設備刻蝕加工的溝槽圖形是非常精細的，屬于亞微米級和微米級的加工，還可能刻出更加精度更高的線條（0.008μm）。

（4）該設備對加工材料具有非選擇性，幾乎所有常見加工材料（導體、半導體、絕緣體）都可以清洗與刻蝕。