將鉭絲(鎢絲)加熱至 2300K 以上，鉭絲呈白熾狀態(tài)，可發(fā)射大量熱電子流，向熱絲弧槍室通入氬氣，熱電子流把氬氣電離再次增加等離子體電子流密度。從熱絲弧槍室向陽極發(fā)射出高密度電子流弧柱，弧電壓為 50V 左右，弧電流為150~200A。

2.加熱工工件

將弧電源正極接工件，弧光電子流射向工件，轟擊加熱工件

3.清洗工件

將弧電源正極接坩堝周圍的輔助陽極，工件接偏壓電源負(fù)極。熱絲弧發(fā)射的電子流在射向輔助陽極的過程中電離氬氣，用離子轟擊清洗工件。

4.鍍 TiN薄膜

將弧電源正極接坩堝，通人氮?dú)狻；」怆娮恿魃湎蜊釄鍍?nèi)的金屬錠上，把金屬加熱蒸發(fā)。金屬蒸氣原子與通入的氮?dú)舛急换」怆娮恿麟婋x，得到高密度金屬離子、氮離子、金屬活性原子、氮的活性原子和活性基團(tuán)，它們到達(dá)工件表面化合反應(yīng)生成 TiN 薄膜。

5.調(diào)整線圈電流

在工件的加熱、清洗和鍍膜過中，需要不斷調(diào)整電磁線圈的電流來改變電的旋轉(zhuǎn)半徑。