鋁膜可以用鎢絲、鉬舟、鉭舟、電子?xùn)|等蒸發(fā)方法制備。鋁是金屬膜中唯一從紫外(0.2mm)到紅外(30mm)波段均具有較高反射率的材料,在0.85 pm 附近反射率存在一個極小值,約85%。鋁膜對玻璃襯底的附著力較好,機械強度和化學(xué)穩(wěn)定性相對較好,可以滿足在多種場合下用作外反射膜。鋁膜表面易形成氧化鋁層,導(dǎo)致紫外波段的反射率下降,可以用氟化鎂作為紫外區(qū)鋁反射鏡的保護層。較高的原料純度和較快的蒸發(fā)速度有利于在紫外區(qū)獲得較高的反射率。在可見光區(qū),常用 Si0 作為保護層的初始材料,在氧氣氛圍下緩慢蒸發(fā) Si0 獲得 Si0.,膜層光學(xué)厚度約為500nm的 1/2。升高沉積溫度或許對提高薄膜附著力有利,但是50℃以上的沉積溫度會造成反射率的顯著降低。銀膜可以用鎢舟、鉬舟、鉭舟、電子?xùn)|等蒸發(fā)方法制備。銀膜的優(yōu)點是在可見與紅外波段均具有最高的反射率,用作分光薄膜有良好的中性和很小的偏振差異。缺點是紫外區(qū)反射率低,與玻璃的附著較差,機械強度和化學(xué)穩(wěn)定性不佳,易于化或者硫化,常用作膠合零件和內(nèi)反射零件,用作外反薄膜需要選擇合適的保護層。ALO,與銀膜間有很高的附著力,常用作銀膜與玻璃襯底之間的附著力增強層,以及表面的保護層。采用的膜系為 GIAL,0,-Ag-A1,0,-Si0,1A,其中厚度為 30~40nm,Si0 厚度補足到設(shè)計波長的 1/2。離子?xùn)|輔助蒸發(fā)有助于獲得致密光滑的銀膜,提高其牢固度和短波反射率。

    金膜可以用鎢舟、鉬舟、電子?xùn)|等蒸發(fā)方法制備。金膜只有在波長大于 800nm 的紅外區(qū)才表現(xiàn)出高反射特性,薄膜自身擁有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,所以常用作紅外系統(tǒng)中的外反射鏡。金膜與玻璃的附著力不高,可以用鉻或者鈦作為附著力增強層。新蒸發(fā)的金膜往往較軟,經(jīng)過一周的放置以后硬度會有所增加。由于其化學(xué)穩(wěn)定性好可以不加特別的保護層。

較快的沉積速度和 100~150℃的沉積溫度有助于獲得牢固性好的金膜。

    鉻膜可以用鎢舟、電子?xùn)|等蒸發(fā)方法制備。鉻膜的最大優(yōu)點是其在可見光區(qū)的分光特性幾乎呈中性,在玻璃上的牢固性極佳,吸收特性受沉積條件的影響較小,提高沉積溫度有助于提高其反射率。鉻膜光學(xué)特性的長期穩(wěn)定性好,缺點是吸收較大,用作1:1分光膜時吸收達(dá) 40%。鉻膜常用在光柵、度盤中制作線條或者掩模的阻光材料。

——本文由光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布