將鎢絲加熱到發(fā)射熱電子的高溫發(fā)射高密度電子流，同時要設置加速電極將熱電子加速成為高能量的電子流。高密度、高能量的電子流可以將更多的氯氣電離，將更多的金屬膜層原子電離以獲得更多的氯離子來提高濺射速率，從而提高沉積速率:可以將更多的金屬電離提高金屬的離化率，有利于反應沉積獲得化合物膜;金屬膜層離子到達工件，提高工件的電流密度，從而提高沉積速率。在磁控濺射鍍硬質涂層時，增設熱陰極前后工件的電流密度和膜層組織。TiSiCN加設熱陰極前，工件上電流密度僅為 0.2mA/mm，增加了熱陰極以后提高到4.9mA/mm2，相當于提高了 24 倍左右，而且膜層組織更細密。由此可見，在磁控濺射鍍膜技術中，增設熱陰極對提高磁控濺射沉積速率和提高膜層粒子活性是非常有效的。該技術可顯著提高汽輪機葉片、泥漿泵柱塞、研磨機零件的壽命。

——本文由磁控濺射鍍膜設備廠家廣東振華發(fā)布