在真空狀態(tài)下，將工件置于低氣壓輝光放電的陰極上，通入適當(dāng)氣體，在一定溫度下利用化學(xué)反應(yīng)和等離子相結(jié)合的離化聚合過(guò)程，在工件表面獲得涂層，而氣相物質(zhì)吸收于工件表面并互相反應(yīng)，最后形成固相薄膜沉積在工件表面。
特點(diǎn)：
低溫成膜，溫度對(duì)工件影響少，避免了高溫成膜的晶粒粗大，膜層不易脫落；
可鍍制厚膜，膜層成分均勻， 阻隔效果好、致密、內(nèi)應(yīng)力小、不易產(chǎn)生微裂紋；
等離子體工件有清洗作用，增加了膜層的附著力。
設(shè)備主要用于在PET, PA, PP等薄膜材料鍍制SiOx高阻隔層；已廣泛應(yīng)用于醫(yī)療/醫(yī)藥用品包裝、電子元器件及食品包裝，也可用于飲料、油脂食品、食用油的包裝容器。膜層具有極好的阻隔性、環(huán)境適應(yīng)性、高微波透過(guò)性、透明性，幾乎不受環(huán)境濕度和溫度變化的影響，解決了傳統(tǒng)包裝材料可能帶來(lái)健康影響的問(wèn)題。
