現(xiàn)階段市場上大部分光學(xué)類鍍膜產(chǎn)品主要是使用電子束蒸發(fā)光學(xué)機(jī)生產(chǎn)，占據(jù)大部分市場。其鍍膜產(chǎn)品純鍍較高，產(chǎn)量低，裝載量少，單爐生產(chǎn)時間長，成本較高，滿足不了現(xiàn)在的工業(yè)需求。我司成功研發(fā)出 SOM 系列設(shè)備，是一款全自動化的磁控濺射鍍光學(xué)膜設(shè)備。設(shè)備具有自動化程度高、載量大、產(chǎn)能大、穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。設(shè)備鍍制膜層性能優(yōu)越，可鍍制多種/多重精密光學(xué)膜。

設(shè)備特點(diǎn)：

1.智能化+全自動控制

SOM 系列設(shè)備是一臺帶回傳功能的自動化閉環(huán)生產(chǎn)線鍍膜設(shè)備，并配備可分隔的進(jìn)出料腔，

進(jìn)料與出料同時自動進(jìn)行；外設(shè)配備機(jī)械手上下載片。自動化程度高，生產(chǎn)效率快，大幅度

減少人工成本。

2.膜層性能優(yōu)越

①鍍多種/多重精密光學(xué)膜: 如 AR 膜、AS/AF、高反膜等高精度多層光學(xué)薄膜

②鍍膜品質(zhì)好:配備獨(dú)立鍍膜腔，始終保持鍍膜室的真空狀態(tài)有利于保證鍍膜的品質(zhì)

③膜厚精準(zhǔn)把控: 設(shè)備配套了良好的抽氣系統(tǒng)以獲得穩(wěn)定的高真空，同時穩(wěn)定的電源輸出、高穩(wěn)定性的陰極系統(tǒng)、高速的工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、精密的全自動程序控制系統(tǒng)相結(jié)合，讓鍍層可在每秒獲得穩(wěn)定的沉積速率，實現(xiàn)每層鍍層被精確控制，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性

④硬度高:配備高能離子源，膜層反應(yīng)程度高，可得到高純化合物膜層，例如對比藍(lán)寶石鍍膜機(jī)，沉積膜層 SixNx 純度更高，可以使得膜層硬度得到更大的提升

⑤膜層致密:磁控濺射效率高，離子源能量高，膜層質(zhì)量好，膜層更致密，結(jié)合力更高，不易掉落

⑥膜層反應(yīng)程度高:配備高能離子源，膜層反應(yīng)程度高，可得到高純化合物膜層

⑦膜系搭配靈活:可在線變更膜系工藝，滿足不同工藝要求，節(jié)省工藝研發(fā)成本

3.生產(chǎn)效率高，能耗低

設(shè)備載量大，默認(rèn)配套 24 塊載片，有效鍍膜面積高達(dá)約 8 平方米。與常規(guī)電子束蒸發(fā)光學(xué)機(jī)對比，其產(chǎn)能增加約 50%，能耗降低約 20%。