靶材的分類
文章作者：廣東振華科技
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發(fā)布時(shí)間：2024-01-12
分類方法 | 應(yīng)用實(shí)例 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、顯示膜、光學(xué)膜、裝飾膜 |
材質(zhì) | 金屬靶材(A1、Sn、Zn、Ti、Ni Cr、Zr、Ir、Ag、Au、Pt、Hf、Nb、Cu、W、Mo、To等) |
合金靶材(金鋼、不銹鋼、銅錫、鎳鉻、鈦鋁、鈦錯(cuò)、鈦金、金銀、金鎳、金、鎢鉬等) | |
磁性靶材(純鐵、坡莫合金等) | |
氧化物靶材(氧化鋼錫陶瓷等) | |
靶材形狀 | 板狀、管狀、線狀、棒狀 |
——本文由磁控濺射鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布
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