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靶材的分類

文章作者:廣東振華科技
閱讀:1642
發(fā)布時(shí)間:2024-01-12
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分類方法

應(yīng)用實(shí)例

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、顯示膜、光學(xué)膜、裝飾膜

材質(zhì)

金屬靶材(A1、Sn、Zn、Ti、Ni Cr、Zr、Ir、Ag、Au、Pt、Hf、Nb、Cu、W、Mo、To等)

合金靶材(金鋼、不銹鋼、銅錫、鎳鉻、鈦鋁、鈦錯(cuò)、鈦金、金銀、金鎳、金、鎢鉬等)

磁性靶材(純鐵、坡莫合金等)

氧化物靶材(氧化鋼錫陶瓷等)

靶材形狀

板狀、管狀、線狀、棒狀

 

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——本文由磁控濺射鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布

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